常見處理工藝比較：有機廢氣污染物種類繁多，特性各異，因此相應採用的治理方法也各不相同，常用的有：冷凝法、吸收法、吸附法、生物法、催化氧化法、燃燒等；近年來由國外也發展出一些新的工藝技術：生物法、低溫等離子法等，以下對各工藝作簡要對比介紹。

1冷凝法

是把廢氣直接導入冷凝器冷凝，冷凝液經分離可回收有價值的有機物。採用冷凝法要求廢氣中有機物濃度高,一般有機物濃度要達到幾萬甚至幾十萬ppm，對於低濃度有機廢氣此法不適用。

2吸收法

吸收法可分爲化學吸收和物理吸收，大部分有機廢氣不宜採用化學吸收。物理吸收要求吸收劑應具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發性，吸收液飽和後經解析或精餾後重新使用。本法適合於中高濃度的廢氣，但要選擇一種廉價高效的低揮發性吸收液也比較困難，同時二次污染問題較難解決，淨化效果不理想。

3吸附法

有機廢氣通過活性炭的吸附，可達到90%～95%以上的淨化率，設備簡單、投資小。該法可以採用水蒸汽等能對吸附飽和的活性炭進行再生，但運行費用相當高，適用於有回收價值的中高濃度VOCs。

4 生物法

該法是基於成熟的生物處理污水技術上發展起來，具有能耗低、運行費用少的特點，在國外有一定規模的應用。其缺點在於污染物在傳質和消解過程中需要有足夠的停留時間，從而增大了設備的佔地，同時由於微生物具有一定的耐衝擊負荷限值，增加了整個處理系統在停啓時的控制。該法目前在國內污水站廢氣治理中有少量應用，對工業廢氣治理的應用很少。

5 催化式氧化法

該法是利用電加熱、天然氣或燃料油燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度約400℃，滯留一定的時間(0.5～1秒)，使可燃的有害物質進行高溫分解變爲無害物質。本法的特點：工藝簡單、去除率高，通過催化材料回收熱量，可以達到90～95%的熱回收率，運行費用較少，尤其對於一些復雜組分處理效果較好。

6直接燃燒法

本法亦稱爲熱氧化法、熱力燃燒法，是利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度(700～800℃)，駐留一定的時間(0.3～0.5秒)，使可燃的有害物質進行高溫分解變爲無害物質。

本法的特點：工藝簡單、適用高濃度廢氣治理；對於自身不能燃燒的中低濃度尾氣，通常需助燃劑或加熱，能耗大（運行成本比催化燃燒法高10倍以上）；運行技術要求高，不易控制與掌握。此法在國內基本上未獲推廣，僅有少數廠家引進國外治理設備應用於較高濃度和溫度的制罐印鐵業廢氣治理中，但終因能耗大及運行不穩定，難以正常運轉。

7 吸附濃縮組合工藝法

(1)吸附-燃燒法

有機廢氣通過吸附劑（活性炭或沸石轉輪）的吸附再脫附，可使大風量、低濃度有機廢氣濃縮爲小風量、高濃度的有機廢氣，再結合催化燃燒法、RTO、RCO等設備進行處理，克服了低濃度、大風量有機廢氣處理設備投資成本、運行成本較高的難題。

(2)吸附--回收法

該法利用過熱蒸汽/惰性氣體反吹吸附飽和的吸附劑進行脫附再生，蒸汽/惰性氣體與脫附出來的有機氣體經冷凝、分離，可回收有機液體。該法淨化效率較高，但要求提供必要的蒸汽量。另外有機溶劑與水的分離不很徹底，得到的“混合苯”液體品質不高，組份較爲複雜，這些有機液體無法直接用到生產中，要再採用蒸餾、精餾、萃取、分離等多道程序，而且蒸汽冷凝效果和設備運轉安全問題也亟待解決。該法在工藝技術上仍有待提高。